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Dispositif de caractérisation de réseaux optiques et procédé de fabrication de réseaux optiques avec une fréquence spatiale prédéfinie


Type de document : Brevet
Langue : français

Responsabilité(s) :



Lieu d'édition : Paris
Editeur : INPI
Année de publication : 2002
Date de Copyright : 2002


Domaine (s) :


Sujets :


Résumé français :

  • L'invention concerne un dispositif optique de caractérisation d'un réseau de diffraction formé de premier et deuxième capteurs diffractifs interférométriques, solidaires, espacés l'un de l'autre d'une première distance déterminée, et comprenant chaucun un réseau de lecture et au moins un détecteur d'intensité lumineuse, ces premier et deuxième signaux électriques qui, lors d'un déplacement relatif entre le dispositif et le réseau de diffraction, varient en fonction de la fréquence spatiale de ce réseau dans des première et deuxième régions de celui-ci situées respectivement en face des deux réseaux de lecture et recevant chaucune de la lumière fournie par au moins une source de lumière. En particulier, les premier et deuxième signaux électriques définissent des première et deuxième phases des premier et deuxième capteurs. En outre, le dispositif comprend des moyens pour mesurer une différence entre les phases des premier et deuxième signaux et des moyens pour mesurer l'accumulation de cette différence lors d'un déplacement du dispositif le long du réseau. L'invention concerne aussi des dispositifs optiques de détermination de la fréquence spatiale d'un réseau d'un type similaire au dispositif susmentionné. L'invention concerne également des procédés de fabrication de réseaux de diffraction utilisant un dispositif du type susmentionné.

Résumé anglais :

  • The invention relates to an optical device for characterising a diffraction grating which is formed by first and second interferometric diffractive sensors which are integral, spaced apart from each other at a determined first distance, and each comprise a reading grating (10a, 10b) and at least one light intensity detector, these first and second sensors providing respectively first and second electrical signals which, during a relative displacement (Deltax) between the device and the diffraction grating, vary as a function of the spatial frequency of this grating in first and second regions of the latter, which regions are located respectively opposite two reading gratings and each receive light supplied by at least one light source. In particular, the first and second electrical signals define first and second phases of the first and second sensors. Furthermore, the device comprises means for measuring a difference between the phases of the first and second signals and means (24) for measuring the accumulation of this difference during a displacement of the device along the grating. The invention also relates to optical devices for determining the spatial frequency of a grating of a type similar to the above-mentioned device. The invention likewise relates to methods of producing diffraction gratings using a device of the above-mentioned type.

Autre(s) titre(s) : Device for characterising optical gratings and method for making optical gratings with predefined spatial frequency

Note : Demande de brevet français publiée le 29/11/2002 sous le numéro FR2825150. Déposant : UNIVERSITE JEAN MONNET Brevets correspondants : CA2448823, WO02097375 (=EP1395794), US2004174536


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